该方法使用高频电感耦合等离子体作为光源，非ꦇ常适用于溶液样品的分析。由于近些年样品分析数量和元素分析种类的增加，ICP以其速度和准确度受到了高度关注。在JIS、ISO标准和日本水供应法中，ICP作为标准分析方法被广泛采用。该仪器可以同时测定痕量元素和高含量元素，既可以用于研发，也可以用于产品控制的自动分析和环境领域水质监测。