丰富的应用案例

粉末（微粒·颗粒） — 岩石的定性与定量 —

粉末样品的分析是X射线荧光的典型应用。对样品加压成型或者直接将样品放入样品容🌞器中即可进行分析。下图是进行了🦂Na～U定性定量分析的岩石标准物质应用例。即使没有标准样品，也可进行准确的定量分析。在真空环境下，轻元素也可实现高灵敏度检测。

 
岩石标准物质的峰谱图

 

 

 

 

液体·泥浆·乳状液 — 废油中的重元素 —

将液体样品放在底部附有聚酯🧔膜的样品容器内即可进行分析。可对水溶液、有机溶剂、油中的添加成分和磨损金 属等进行检测·定量分析。可以检测出༺废油中ppm级的重元素。

 

异物·材质判定 — 树脂成型品上附着的异物 —

EDX能够无损进行元素分析，因此可对食品、医药品、产品上🤪附着或者混入的异物进行有效分析。通过样品的观ඣ 察装置和使用相应的准直器，可以轻松定位微小异物。

将照射直径缩小到与样品相符的大小时，可以有效降低周边材质对其的影响。꧑根据结果进行准确的定量匹配，可以确定下图例中的材质为SUS316。

样品外观

异物部位（红色）和正常部位（蓝色）的分析谱图叠加

 

催化剂残留 — 利用散射线校正进行分析 —

EDX也适用于催化剂残留的检测。有机合成时，常用ICP分析等对催化剂残留进行定量分析，但前处❀理操作等十分 繁琐，需要很长时间才能获得结果，而采用E🍬DX则可轻松进行定量。

下面介绍使用Pd标准溶液制作的标准曲线对有机物（纤维素）中的Pd进🅠行定量的分析示例。使用散射线内标校正，不仅可校正水和纤维素的材质差异，而且在样品量很少的情况下，也能获得足量样品相同的定量结果。

 

— 磷的筛选分析 —

苯酚、异丙基磷酸（3:1）（PIP（3:1））被广泛应用于以聚氯乙烯（PVC）和聚氨酯等树脂为代表的产品中，以使产品具有可塑性和阻燃性。另一方面，美国环境保护署（U.S.EPA）的有毒物质控制法案（TSCA）开始对含有 PIP（3:1）的产品及成品的制造、加工与交易进行🍬管控。EDX可通过对含P化合物PIP（3:1）中 P浓度的筛选分析，以满足上述管控要求。使用选购件真空检测单元，可进一步提高分析的灵敏度。

PIP（3:1）的分子式

含PIP（3:1）样品与空白的谱图叠加

※含PIP（3:1）的类似样品，是指在石油醚中加入了PIP（3:1）和氯化石蜡，使磷(P)浓度达到100𝓰0ppm的样品。

含PIP（3:1）实际样品在真空/大气环境下测试的谱图叠加

— 无电解镍-磷镀层的膜厚·组成检测 —

通过薄膜FP法,可以同时定量分析多层膜的厚度和成分组成。
以下为镀层膜厚4.8µm,主要成分为Ni、P以及检测出微量的Pb的构成定量示例。

薄膜FP法定量分析结果

用薄膜FP法设定基板等基材、膜的层叠顺序、元素信息。

— 异型镀层样品的膜厚测定 —

EDX可通过使用薄膜FP法，在无标准板的情况下测定镀层膜厚。但是，样品表面不平坦的情况下，采用薄膜FP法 可能会产生较大的误差。 如⭕果使用背景FP法（参考🌃P10），则可对像螺丝轴部那样的异型样品进行膜厚测定，误差很小。下图是镀锌螺丝的膜厚测定案例。