选购件
跟踪成图面分析
在标准的面分析软件上可以追加跟踪功能。对于表面有凹凸的样品，或者有倾斜面的样品X-Y位置高度不同的时候，通过对样品Z轴的高度进行修正，可以控制信号𒉰的强度低下，从而进行高精度的面分析。
此功能根据事先取得的多点高度信息，在分析𓂃过程中通过逐一控制样品台的Z轴坐标来实♋现。通过设定高度信息得出跟踪面，可进行等高线或3D显示。
原理图
●面分析结果
样品实例 20cent 硬币：Cu面分析
通过运用跟踪功能，得到更准确的元素分布。
※跟踪功能应用与人物像以及其周边， ☆及边框没有使用跟踪功能。
跟踪线分析
与跟踪成图分析相同，在标准的线分析软件上也可追加跟踪功能。
相解析程序
根据元素相关关系，从各元素的面分析数据中选择2或3个元素建立散布꧟图，用不同颜色来区分元素间的特定关系。另外，通过多个散布图同时显示，可以看出多元素之间的关联。
● 特点
散布图还可通过3D显示，
便于从多角度观察元素间关联。
元素与散布图之间相互切换，
可对多个元素间关联进行解析。
电子束侵入范围
🐎通过模拟可以知道入射电子束通过样品表面进入到样品的深度及宽度。计算X射线侵入范围的方法2种，分别为根据电子束扩散大小、分析♛范围求出电子能级，以及根据每个电子轨迹得出所以电子轨迹（侵入范围）的蒙特卡洛法。