HT扫描器-高速反馈,高速扫描
缩短观察时间 高通量扫描
通ꦚ过新开发的可快速响ౠ应的HT扫描器以及软件与控制系统设计的优化,成功实现以传统设备5倍以上的速度(与本公司相比)获取图像数据。
扫描器可简单更换,因而可使用传统扫描器。另外,可通过在原SPM-9700上💛追加HT扫描器,实现设备的高效率分析。
分析案例
• 金属蒸镀膜的表面粗糙度分析
以1Hz和5Hz的扫描速度对金属蒸镀膜的表面形貌进行观察。画质及表面粗糙度的分析结果相同。
• 光栅沟槽形状检测
以1Hz和5Hz的扫描速度对光栅的表面形貌进行观察。经过断面形状分析,沟槽形状检测结果均相同。
探针专家-便捷操作,轻松换探针
探针安装夹具——“探针专家”(选配)
可轻松地准确安装探针。
安装顺序:
① 将探针架安装在探针安装夹具上。
② 将探针置于滑动台上。
③ 将探针插入探针架并固定,保持探针能够滑动。
头部滑动机构-高稳定性&高速分析处理
鼠标操作即可实现丰富的3D图像显示
SPM-9700HT仅用鼠标即可实现旋♕转、放大缩小、Z轴倍率的自由变化,调节图像角度和倍率。更有将高度信息和其🐲他物理信息重合显示的质感功能和3D断面形状分析功能,由此实现高度分析,提高图像确认的效率。
质感功能
能够将高度信息和其它的物理性信息重合显示。两者关系也可明确显示。
3D断面形状分析
能够在3D显示时进行断面形状分析༒。质ღ感功能显示物理性信息时,也可在同一位置分别显示各种各样的断面形状,并进行分析。
从观察到分析实现无拘无束的可操作性
满足所有要求的功能和扩展性
丰富的设定模式,不仅可以显示样品形状,更可获得反应电流、电位、硬度和粘弹性等ꦦ样品表面物理信息的图像。
接触模式AFM
悬臂和样品始终保持接触,控⛦制悬臂与样品之间的相互作用保持一定状态下,扫描样品表面的模式。这是典型的AFM模式,可以♛得到目前更高分辨率图像。
动态模式AFM
悬臂🌟在谐振频率附近震动。在悬臂震动的状态下悬臂接近样品时振幅会发生变化。利用这种现象,在保持振幅不变的状态下进行扫描,ꦯ获得样品高度方向的变化数据。
相位模式
在动态模式扫描中,💧由于样品表面性质的差异会导致悬臂相位的延迟,据此可以图像化显示被测样品表面的物理性质差ꦰ异。
水平力(LFM)
垂🗹直于悬臂的长度方向的扫描,通过检测悬臂的弯曲量变化,可以检测样品表面受到的水平力(也叫摩擦力)的大小。
力调制模式
悬臂和样品的接💛触扫描过程中,悬臂周期性的压入样品,将产生的响应分离成振幅和相位后进行图像化,这样可以测量样品表面的不同物理性质并能进行图像化显示。
力曲线模式
扫描中,悬臂和样品的距离在不断变化,可以用曲线表示悬臂的作用力变化
电流模式
接触模式扫描中,在悬臂和样品间加上一个偏压,就可以测量悬臂和样品间流过的电流。
表面电势模式(KFM)
在导电悬臂和样𒁏品之间加上交流电压,可以检测出悬臂-样品表面间相互作用的电场力和样品表𓂃面的电势分布情况。
磁力模式(MFM)
将磁化的悬臂离开样品表面扫描,检测出漏磁场与磁力,将样品的磁性化信息图像化。
矢量扫描
可以对样品的扫描方式、探针与样品间力、加载电压等参数进行编程,并按设定要求进行观察。
溶液中观察(培养皿型溶液池)
样品固定在培养皿的底部,探针在溶液中进行扫描,实现AFM在溶液环境下的观察。
电化学反应观察 (电化学反应溶液池)
🐓在电解溶液中൲通过电化学反应,使用AFM观察样品表面的变化。采用标准3电极(作用电极、对极、参照电极)。
粒度分析软件(选配)
颗粒分析软件是在SPM-9700HT的图像数据中选取颗粒,针对每个颗粒计算其特征量,同时进行分析、显示以及统计时使用的软件。🥂能够对以下丰富的特征ꦇ量和计算出的各特征量的统计数据进行一览显示,可更换数据前后顺序并可以图形显示。
特征量 | 统计量 | |
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分析例
薄膜(□5μm)
大肠杆菌(□30μm)
选出颗粒·分类结果
选出颗粒·标记结果
平均半径的柱状图表示
绝对最大直径和针状程度相关的表示图