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SPM-9700HT - 特点

Scanning Probe Microscope

HT扫描器-高速反馈,高速扫描

 

缩短观察时间  高通量扫描
通ꦚ过新开发的可快速响ౠ应的HT扫描器以及软件与控制系统设计的优化,成功实现以传统设备5倍以上的速度(与本公司相比)获取图像数据。

扫描器可简单更换,因而可使用传统扫描器。另外,可通过在原SPM-9700上💛追加HT扫描器,实现设备的高效率分析。

分析案例

 金属蒸镀膜的表面粗糙度分析

以1Hz和5Hz的扫描速度对金属蒸镀膜的表面形貌进行观察。画质及表面粗糙度的分析结果相同。

 

 光栅沟槽形状检测

以1Hz和5Hz的扫描速度对光栅的表面形貌进行观察。经过断面形状分析,沟槽形状检测结果均相同。

探针专家-便捷操作,轻松换探针

 

探针安装夹具——“探针专家”(选配)

可轻松地准确安装探针。

安装顺序:
① 将探针架安装在探针安装夹具上。
② 将探针置于滑动台上。
③ 将探针插入探针架并固定,保持探针能够滑动。

头部滑动机构-高稳定性&高速分析处理

光ღ杠杆系统和悬臂合为一体的头部机构,仅通过整体滑动设置即可实现样品更换。激光连续照射,维持高稳定𝓰性。无需调整光轴中断激光照射,从而缩短分析时间。

高稳定性
维持高刚性,光杠杆系统可作为一体滑动

高速分析处理
维持高刚性,成功地开放了样品周围的空间

高稳定性
·样品交换式也可保持激光稳定照射悬臂
·不受震动、声音和外界影响,无需专门的风挡
·内置减震器

SPM-9700HT  高稳定性的秘诀
维持高稳定性的构造 –不同激光照射方式下的稳定性比较-

 
高速分析处理
·无需拆除悬臂架即可进行样品交换。
·在SPM观测时,也可接触样品。
·无论样品的厚薄,可自动驱近到更适宜的观测位置。
 
SPM-9700HT 高速分析处理的秘诀
优异的操作性能  -样品更换的分析处理比较-
 


 

鼠标操作即可实现丰富的3D图像显示

SPM-9700HT仅用鼠标即可实现旋♕转、放大缩小、Z轴倍率的自由变化,调节图像角度和倍率。更有将高度信息和其🐲他物理信息重合显示的质感功能和3D断面形状分析功能,由此实现高度分析,提高图像确认的效率。

放大缩小

旋转

Z轴倍率变化

质感功能
能够将高度信息和其它的物理性信息重合显示。两者关系也可明确显示。

3D断面形状分析
能够在3D显示时进行断面形状分析༒。质ღ感功能显示物理性信息时,也可在同一位置分别显示各种各样的断面形状,并进行分析。

从观察到分析实现无拘无束的可操作性

从在线观察到离线分析采用无界限约束的新界面(GUI)设计,实现了从观察操作观察位置结果分析的简单便捷操作。

 

操作简单明确
从启动到ꦗ观察、分析,均无复杂的设定,轻松点击鼠标即可进行操作。 自动进针,自动扫描,全程保护探针不受损伤,同时保证图像分辨率和探针寿命。

 
 

在管理画面上选择观察模式。

按照操作指南的步骤进行操作,即可轻松完成。

单击“开始观察”按键,从驱近样品表面到进行分析全过程实现自动。兼顾探针保护、操作便利和图像分辨率。

无需切换至在线状态,即可对之前获取的图像进行确认。

通过丰富的图像显示、处理、分析功能,尽显完好的观察结果,并可进行定量分析显示。

 
 

观察位置简单明确

 

至多可同时显示8组画面,可以实时对形貌和无形等多组图像进行比较。

可以在一个以观察的较大的区域,通过自由导航功能引导进一步观察任何一个指定的特定𝐆区域。已保存的图像数据🌺也可作为参照表示 。

观察结果简单明确

可以边观察边在在线画面上测定断面形状。

 

能够将之前的图像数据与观察中的图像数据同时显示比较。

丰富的扫描功能

通过观察到的图像数据的个点测定力曲线,能够观察出样品的机械特性和吸着力的分布。

 

可以对样品的扫描方式、探针与样品间力、加载电压等参数进行编程,并按设定要求进行观察。

 

满足所有要求的功能和扩展性

丰富的设定模式,不仅可以显示样品形状,更可获得反应电流、电位、硬度和粘弹性等ꦦ样品表面物理信息的图像。

标配

接触模式
悬臂和样品保持接触,观察样品表面形状的一种模式

动态模式
悬臂在震动的状态下观察样品表面形状的一种模式

相位模式
动态模式的性能扩展,样品表面性质的差异会导致悬臂相位的延迟,由此观察表面物理信息的一种模式

水平力模式
检测悬臂的工作水平力(摩擦力)的一种模式

标配

力调制模式
接触模式的性能扩展,观察样品表面物理信息的一种模式

力曲线模式
可以将悬臂与样品的作用力变化用图显示出

选配

电流模式
测量悬臂与样品间流过的电流分布的一种模式

表面电位模式
观察样品表面电位分布的一种模式

选配

磁力模式
观察样品表面磁性信息的一种模式

矢量扫描模式
悬臂可在样品表面任意移动的功能

溶液中观察模式
使用培养皿,在溶液中观察样品表面

电化学反应的观察模式
使用电化学反应溶液池,观察反应下的样品表面

接触模式AFM

悬臂和样品始终保持接触,控⛦制悬臂与样品之间的相互作用保持一定状态下,扫描样品表面的模式。这是典型的AFM模式,可以♛得到目前更高分辨率图像。

云母的原子图像(使用充气平台)

动态模式AFM

悬臂🌟在谐振频率附近震动。在悬臂震动的状态下悬臂接近样品时振幅会发生变化。利用这种现象,在保持振幅不变的状态下进行扫描,ꦯ获得样品高度方向的变化数据。

蓝宝石的原子台阶

质粒DNA

相位模式

在动态模式扫描中,💧由于样品表面性质的差异会导致悬臂相位的延迟,据此可以图像化显示被测样品表面的物理性质差ꦰ异。

高分子片晶 表面形貌像

相位像

水平力(LFM)

垂🗹直于悬臂的长度方向的扫描,通过检测悬臂的弯曲量变化,可以检测样品表面受到的水平力(也叫摩擦力)的大小。

白金层 表面形状

LFM像

力调制模式

悬臂和样品的接💛触扫描过程中,悬臂周期性的压入样品,将产生的响应分离成振幅和相位后进行图像化,这样可以测量样品表面的不同物理性质并能进行图像化显示。

聚丙烯膜 表面形状像

振幅像

力曲线模式

扫描中,悬臂和样品的距离在不断变化,可以用曲线表示悬臂的作用力变化

电流模式

接触模式扫描中,在悬臂和样品间加上一个偏压,就可以测量悬臂和样品间流过的电流。

碳电阻 表面形貌像

电流像

表面电势模式(KFM)

在导电悬臂和样𒁏品之间加上交流电压,可以检测出悬臂-样品表面间相互作用的电场力和样品表𓂃面的电势分布情况。

分散剤 表面形状像

電位像

磁力模式(MFM)

将磁化的悬臂离开样品表面扫描,检测出漏磁场与磁力,将样品的磁性化信息图像化。

软盘 表面形貌像

MFM像

矢量扫描

可以对样品的扫描方式、探针与样品间力、加载电压等参数进行编程,并按设定要求进行观察。

硅基板上的金镀气层 表面形貌像

KFM像

溶液中观察(培养皿型溶液池)

样品固定在培养皿的底部,探针在溶液中进行扫描,实现AFM在溶液环境下的观察。

亲水性高分子 大气中

溶液中

电化学反应观察 (电化学反应溶液池)

🐓在电解溶液中൲通过电化学反应,使用AFM观察样品表面的变化。采用标准3电极(作用电极、对极、参照电极)。

铜板 表面形状像

cyclic voltammetric 3次反复

粒度分析软件(选配)

颗粒分析软件是在SPM-9700HT的图像数据中选取颗粒,针对每个颗粒计算其特征量,同时进行分析、显示以及统计时使用的软件。🥂能够对以下丰富的特征ꦇ量和计算出的各特征量的统计数据进行一览显示,可更换数据前后顺序并可以图形显示。

特征量 统计量
  • 重心X
  • 重心Y
  • 绝对最大直径
  • 宽度
  • 水平费雷特直径
  • 垂直费雷特直径
  • 圆相对半径(除去孔洞)
  • 圆相对半径(包含空洞)
  • 平均半径
  • 平均半径的偏差
  • 重心间的最小距离
  • 周长
  • 颗粒圆周长
  • Z的最大值
  • Z的最小值
  • Z的平均值
  • 颗粒周边的Z的平均值
  • 除去孔洞的面积
  • 包含孔洞的面积
  • 表面积
  • 体积
  • 方向
  • 2次元惯性力矩的主轴角度
  • 占有率
  • 面积率
  • 扁平率
  • 圆形程度
  • 凹凸程度
  • 针状程度
  • 平均
  • 标准偏差
  • 平均长度
  • 平均面积
  • 平均体积
  • 合计
  • 最大值
  • 最小值
  • 标记最大值
  • 标记最小值
  • 范围
  • 颗粒数

分析例


薄膜(□5μm)


大肠杆菌(□30μm)



选出颗粒·分类结果



选出颗粒·标记结果



平均半径的柱状图表示



绝对最大直径和针状程度相关的表示图

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