自动观察
自动完成光路调整、扫描参数设定、图像处理
使用标准样品和标准探针时操作用时5分钟*
*自动观察模式,扫描范围1um× 1um ,256×256点阵。操作时长依赖于操作者。
传统的原子力显微镜需要人工调整光路、设定扫描参数、进行图像处理。但是SPM-Nanoa可以帮助用户毫无压力地完成这些操作。
性能优异
性能优异
从光学显微镜到SPM/AFM,各模式下均可清晰地捕捉图像
利用光学显ﷺ微镜搜索目标区域,利用SPM可🧜以方便地进行高分辨率观察。利用与表面形状图像相同的视场可以获得其他物理特性信息。
样品:硅基底上的二氧化硅图案
丰富多样的扫描模式
从形貌观察ဣ到基于力曲线测量的物性分析,支持广泛的扫描🌞模式。这意味着可以兼顾高分辨率与物性测试。
形貌 | 接触模式、动态模式 |
---|---|
机械性能 | 相位模式、侧向力模式、力调制模式、Nano 3D Mapping Fast * |
电磁学 | 电流模式* 、磁力模式* 、表面电势模式* 、压电力模式* 、STM * |
纳米加工 | 矢量扫描模式* |
环境支持 | 液体环境* |
*为选配部件
搜寻目标区域更容易
利用清晰地光学显微镜图像,可以轻松找到目标区域,不用担心振动的影响。
SPM-Nanoa集成了一体式高性能光学显微镜。
样品视野
使用集成光学显微镜,样品表面的3um间隔图案清晰可见。
高分辨观察表面物性
极软样品的变形或样品局部的机械及电气性能的差异,都可以获得高分辨率的观测图像。
用表面电势模式观察云母基底上的金纳米颗粒
该图显示了0.2um范围内的表面电势(右)和形貌图像(左)
8K成像助力大范围高分辨扫描
可支持8K(81929192)扫描点阵,大范围区域的小细节也纤毫毕现。
观察金属蒸镀膜
省时高效
支持功能功能模式高速观察
通过高速观察和物性高速成谱功能,显著减少了观测时间。
探针更换工具和样品更换机构有效缩短了扫描准备时间。
三个独特设计极大缩短了观测时间。
*观测时间受参数设定影响