中国
分析检测仪器
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Si板上的SiO2图案观察例
表✱面形貌像（左图）中明亮的部分为SiO2。电流像（右图）中的明暗与表面形貌像相反。可知Si基板上存在不🍰通电的部分。（使用电流测定系统）
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